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第292章 光源设备(第3页)

宋光先是愣了一下,随即便想通了其中的关节。

毕竟自已想要追加经费也不是三五次了,可是这边没有什么拿得出手的成果,都被校方拒绝。

这次自已压根没有提追加经费的事情的,校长却主动提出。

不愧是院士,这面子就是大啊!

宋光看了看时间,“行,这事也亏有你。对了,一会儿我有一堂课,你先熟悉一下。”

说完之后便起身开始整理资料。

萧阳也说了句的话便退了出来。

本来想要直接去电脑模拟室,去听听这些研究生都在探讨什么。

可是走到门前,萧阳停下了。

这些研究生说的理论知识自已都懂,甚至对于他来说非常简单。

进去听,就是在浪费时间。

自已以新人身份如果提出什么不同的意见,也好像不太合适。

反正自已就是来研究和实验光源问题的,还是不浪费时间比较好,毕竟大家都挺忙的。

想到这里,便缩回手,看了看实验室的光源设备。

随即走了过去。

仔细查看这些光源设备。

设备很新,但并不算很先进。

光源设备其实就是打开电源和控制器之后,从分子激光器发出脉冲激光。

然后通过光路、衰减片,传感器,照明光路,掩膜板,投影物镜,最终投射到硅片表面。

光路和步骤都有,但是难就难在激光脉冲的实时调节算法上,这关系到精密度和均匀度。

想要造出高端先进的光刻机,那么光源系统就是首当其冲的。

萧阳仔细的观看这台紫外光源机器。

虽然和萧阳脑海中光刻机光源系统有很大的差别,但原理是一致的。

只要按照脑海中的参数来,那么产生精密光源的成功率应该极高。

“这是米国波莱纳公司生产的G-2314光源系统。”

萧阳转过身,站在不远处的正是手中拿着资料的宋光。

他脸上还挂着笑容,看来追加经费这件事情让他极为高兴。

萧阳点点头,“机器还可以,可惜不够先进,而且有拼装的痕迹。”

宋光走进一些,“这些高端技术都是封锁状态,这种半淘汰的设备还是校方花了高价买来的,而且还有一些零件是其他公司生产拼凑出来……哎,没办法,受制于人嘛。”

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